中芯國際HF、HCl、CL2、NH3在線監(jiān)測

返回列表 來源：發(fā)布日期：2018-12-20

項目類型：中芯國際集成電路制造（北京）有限公司污染源在線監(jiān)測系統(tǒng)
應用場景：采用了OPSIS SYSTEM 400拖帶監(jiān)測的方案，實現(xiàn)套系統(tǒng)拖帶監(jiān)測多條煙囪廢氣的功能
監(jiān)測項目：HF、HCl、CL2、 NH3
系統(tǒng)結構圖：

采用一套OPSIS SYSTEM 400在線監(jiān)測系統(tǒng)，使用AR600紫外差分吸收光譜分析儀一臺，搭配MX012多路器實現(xiàn)單臺分析儀連續(xù)循環(huán)測量多條煙囪的功能，該系統(tǒng)對#1~#3煙囪的NH3堿性氣體進行一拖三的在線監(jiān)測。由于R型光纖的長度有一定的限制，距離站房較遠的#3煙囪使用快速循環(huán)回路（FastLoop）進行監(jiān)測。

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