半導體等電子工業(yè)監(jiān)測站解決方案
背景概述
半導體/電子工業(yè)是我國重點扶持和發(fā)展的領(lǐng)域,在生態(tài)環(huán)境保護方面,半導體/電子工業(yè)制造廠也在加大投入污染治理和污染物在線監(jiān)控,以降低對生態(tài)環(huán)境和居民的影響。然而,半導體/電子工業(yè)制造廠的廢氣/煙氣排放煙囪很多,有酸性排口,堿性排口(NH3)和VOCs排口,每個Fab廠都有十到幾十個煙囪排口,而且酸性氣體多(HCl、HF、Cl2、H2SO4等)和VOCs種類多(非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等),要對每個煙囪排口進行在線監(jiān)測,就需要綜合考慮國際上先進的監(jiān)測技術(shù)和建設(shè)經(jīng)濟效益,選擇最優(yōu)的解決方案。
行業(yè)類型:半導體等電子工業(yè)
主要監(jiān)測因子:NH3、HCl、HF、Cl2、H2SO4、非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等。
解決方案概述:博測環(huán)境提供的整體解決方案是采用非接觸式差分吸收光譜法(DOAS),使用一條光路貫穿整個管道。光束通過光纖傳輸?shù)椒治鰞x,而這個分析儀又同時監(jiān)測幾個路徑。滿足同時監(jiān)測全部排口,多種因子,包括了酸性氣體、堿性氣體和VOCs氣體。該方案采用了先進的光譜法(UV/IR)監(jiān)測酸堿氣體和氣相色譜法(GC-FID)監(jiān)測VOCs氣體。如下圖:
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